EUV 펠리클1 반도체 EUV 공정용 핵심 소재 연구개발 닻 올린다 반도체 극자외선(EUV) 공정에 활용되는 핵심 소재 연구개발(R&D) 투자가 본격화된다. 최근 국내 반도체 대기업 양산 라인에 EUV가 도입돼 관련 기술이 주목받고 있지만, 이를 뒷받침할 국내 소재·부품·장비 저변은 상대적으로 열악하다는 지적이 많았다. 이번 투자가 국내 EUV R&D 생태계 저변이 넓어지는 계기가 될 것으로 기대된다. 26일 업계에 따르면 과학기술정보통신부는 '소재혁신선도 프로젝트' 일환으로 '5나노(㎚)급 이하 반도체 노광공정용 EUV 흡수 및 투과 소재기술' 개발 과제를 5년간 지원한다. 이번 과제는 첨단 반도체 제조 기술로 꼽히는 EUV 노광 공정에 필수인 소재 기술을 국산화하는 것이 골자다. 프로젝트는 전자부품연구원이 총괄한다. 또 한양대학교 주도로 지난해 개설한 EUV 기술 연.. 2020. 6. 2. 이전 1 다음
