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정리하는 반도체61

SK 불화수소 양산 시작 SK머티리얼즈는 17일 초고순도 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 밝혔다. 순도 99.999%가 넘는 초고순도 불화수소는 반도체 회로를 깎고 불순물을 제거하는 데 필수적이다. 한국 반도체 업체들은 지난해 일본의 수출규제 조치 이전 이 소재를 일본에 거의 100% 의존했다. SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 이번 양산을 통해 오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다. 박영선 벤처기업부장관이 지난해 일본 수출규제 조치 이후 "국내 중소기업도 불화수소를 만들 수 있는데, 문제는 대기업이 중소기업 제품을 안 사준다는 것"이라고 지적하자 최태원 SK그룹 회장이 "만.. 2020. 6. 18.
플라즈마와 스퍼터링 플라즈마는 고체, 액체, 기체 외의 제 4의 상태로 이온, 라디칼, 전자가 함께 공존하는 상태이다. 하지만 외부에서 볼 때는 중성의 상태이다. 플라즈마는 Ar와 같은 비활성 기체를 사용하여, 진공에서 기체를 넣고 높은 에너지를 전가하면 만들어진다. 플라즈마 상태를 유지하는데 필요한 것은 전자의 가속과 압력이다. 1) 전자의 가속이 필요한 이유는 전자의 충돌에너지로 인해서 이온화가 진행되기 때문인다. 2) 높은 전기장을 주어 전자를 가속시키려해도, 기체의 양이 많으면 전자가 충돌을 많이 해서 (MFP가 짧아져) 에너지가 감소하기 때문에 이온화를 못시킨다. 반대로 기체의 양이 작아진다면 (MFP가 길어져) 가속은 얻지만 원자와 충돌할 확률이 작아진다. 방전을 일으키는데 전기장과 압력, 전극 재료마다 다른 특.. 2020. 6. 11.
낸드플래시(NAND FLASH) 메모리 제품 양산 수율 90% 달성 [산업일보] 휴대용 저장장치(USB), 디지털카메라 등에 쓰이는 낸드플래시 메모리는 많은 반도체 업체가 생산하고 있어 제품 경쟁력 확보와 원가절감이 무엇보다 중요하다. 초기 낸드플래시는 좁은 저장 공간에 의한 간섭현상으로 불량률이 높은 것이 늘 문제로 지적받았다. 최근 코로나19로 인한 글로벌 반도체 공급망 균열이 우려되는 상황에서, 반도체 소재, 부품, 장비에 대한 국산화 필요성이 커지고 있다. SK하이닉스㈜ 이인노 팀장은 이 문제를 해소하기 위해 기존 식각 공정을 플라즈마를 이용한 공정으로 전환해 불량률을 떨어뜨렸다. 이인노 TL은 1997년 ㈜SK하이닉스에 에칭공정 엔지니어로 입사해 디램 및 낸드플래시의 제품개발 및 양산이관 업무를 수행했다. 초기 낸드플래시 개발 시 용액을 이용한 Wet 에칭 방식.. 2020. 6. 11.

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